Процеси
Термічне та ультрафіолетове імпресіювання
Покрово-повторне (step-and-repeat) та рулонно-нарізний (roll-to-roll)
Виготовлення форм та їх довговічність
Наноімпресійна літографія – Розширення можливостей
Мета проєкту - створення наноструктурного шару на основі метаматриці з використанням технології наноімпресійної літографії.
Для цього необхідно створити макет за допомогою електронно-промільового мікроскопічного (e-beam) процесу, що дозволить отримати необхідну геометрію наноструктури.
Подальша реплікація буде здійснюватися методом ультрафіолетової літографії з імунізацією (UV-NIL), забезпечуючи високу точність та контроль над розмірами наноструктур.
Отримані оптичні структури будуть передані та досліджені для оцінки їхніх характеристик.
Часті запитання
Роздільна здатність?
Менше 10 нм з відповідними формами.
Дефекти?
Контроль частинок та запобігання прилипанню.
Вирівнювання?
Стратегії перекриття та позначки.
Матеріали?
Резисти та вибір підкладки.
Продуктивність?
Масштабування з рулону в рулон.
Вартість?
Термін служби форми проти вихідної продуктивності.
Застосування?
Оптика, метаповерхності, зберігання даних.
Перенесення малюнка?
Проточні етапи гравіювання та зняття форми.
Методологія?
SEM/AFM та карти дефектів.
Перспективи?
Масове виробництво наноструктур.
Спробуйте наживо
Усе, що вище, працює прямо у вашому браузері — відкрийте Brownian Motion — Nanoparticle Diffusion Simulator і змінюйте параметри під час роботи. Нічого не встановлюється, нічого не завантажується на сервер, уся модель живе в одній вкладці.
▶ Відкрити симуляцію Brownian Motion — Nanoparticle Diffusion Simulator