ГоловнаСтаттіНанотехнології та MEMS (Мікроелектромеханічні системи)

Наноімпресійна літографія

Високошвидке формування нанорозмірних особливостей за допомогою механічного відтворення.

mysimulator teamОновлено — червень 2026≈ 3 хв читання▶ Відкрити симуляцію

Процеси

Термічне та ультрафіолетове імпресіювання

Покрово-повторне (step-and-repeat) та рулонно-нарізний (roll-to-roll)

Виготовлення форм та їх довговічність

жива демонстрація · пов'язана симуляція● LIVE

Наноімпресійна літографія – Розширення можливостей

Мета проєкту - створення наноструктурного шару на основі метаматриці з використанням технології наноімпресійної літографії.

Для цього необхідно створити макет за допомогою електронно-промільового мікроскопічного (e-beam) процесу, що дозволить отримати необхідну геометрію наноструктури.

Подальша реплікація буде здійснюватися методом ультрафіолетової літографії з імунізацією (UV-NIL), забезпечуючи високу точність та контроль над розмірами наноструктур.

Отримані оптичні структури будуть передані та досліджені для оцінки їхніх характеристик.

Часті запитання

Роздільна здатність?

Менше 10 нм з відповідними формами.

Дефекти?

Контроль частинок та запобігання прилипанню.

Вирівнювання?

Стратегії перекриття та позначки.

Матеріали?

Резисти та вибір підкладки.

Продуктивність?

Масштабування з рулону в рулон.

Вартість?

Термін служби форми проти вихідної продуктивності.

Застосування?

Оптика, метаповерхності, зберігання даних.

Перенесення малюнка?

Проточні етапи гравіювання та зняття форми.

Методологія?

SEM/AFM та карти дефектів.

Перспективи?

Масове виробництво наноструктур.

Спробуйте наживо

Усе, що вище, працює прямо у вашому браузері — відкрийте Brownian Motion — Nanoparticle Diffusion Simulator і змінюйте параметри під час роботи. Нічого не встановлюється, нічого не завантажується на сервер, уся модель живе в одній вкладці.

▶ Відкрити симуляцію Brownian Motion — Nanoparticle Diffusion Simulator

Що ви знайшли?

Додати кроки відтворення (опційно)